半導体製造装置に関連する特許調査を行うにあたり、対象となる特定機能に関する基本キーワード、関連技術用語、同義語・類義語、発明の構成要素、関連課題・効果を含むキーワードリストを作成します。また、関連するIPCおよびFI分類を提案し、それらの理由や関連性を説明します。