このプロンプトは、半導体製造装置の特定機能に焦点を当て、関連する基本キーワード、技術用語、同義語、およびIPC/FI分類を含むキーワードリストを作成するよう指示します。特に、装置の開発や知財戦略に関わるエンジニアを対象としています。特許調査に役立つキーワードを網羅的に洗い出し、関連性を明確にすることを目指しています。