このプロンプトは、半導体製造装置における特定の機構や部品設計に関する技術的な質問への回答をリスト形式で作成するためのものです。装置名や設計の特定項目を基に、理解しやすく、かつすぐに実装可能な形で情報を提供します。質問内容と回答を明瞭に整理することで、読み手が迅速かつ正確に理解できるようにします。