半導体製造装置の特定機能に関する特許調査を効率化するため、基本キーワード、関連技術用語、同義語、発明の構成要素、課題・効果などを含むキーワードリストを作成します。また、関連するIPC分類およびFI分類の候補を挙げ、それらの関連性についても説明を加えます。