このプロンプトは、半導体製造装置の特定機能についての特許調査を行う際に必要なキーワードリストを作成するためのものです。依頼者は半導体製造装置の開発もしくは知財戦略に関わるエンジニアであり、プロンプトはキーワードリストには基本キーワード、関連する技術用語、同義語・類義語、発明の構成要素、課題や効果を含むことを要求しています。また、IPCやFI分類の候補を提示することも求められています。