このプロンプトは、半導体製造装置の開発・設計コンサルタントとして、依頼された装置の特定規格・ガイドラインに対する準拠チェックリストを詳細に作成するための指示を提供します。チェックリストには、各項目の条項番号や具体的な要求事項が含まれており、備考欄には準拠状況の判断根拠や関連するデータを記載することが求められています。